tert-ブチル 2-[4-(ジフェニルスルホニウム)フェノキシ]酢酸塩、ノナフラート塩 CAS番号: 857285-80-4 • ChemWhat

tert-ブチル 2-[4-(ジフェニルスルホニウム)フェノキシ]アセテート、ノナフラート塩 CAS番号: 857285-80-4; ChemWhat コード：1499775

識別	物理データ	Spectra
合成経路（ROS）	安全と危険	その他のデータ

特許情報
データなし

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GHSのハザード・ステートメント

未分類

使用パターン

半導体リソグラフィ用光酸発生装置（PAG）

CAS 857285-80-4の主な用途は、化学増幅型フォトレジストにおける光酸発生剤（PAG）としての利用です。スルホニウムカチオンは、紫外線、深紫外線、電子ビーム、または極紫外線に曝されると強酸を生成し、半導体製造における高解像度パターン形成を可能にします。

高度なフォトレジスト配合

用途：KrF（248 nm）フォトレジスト、ArF（193 nm）フォトレジスト、EUVフォトレジスト、高解像度マイクロ・ナノパターニング材料。ノナフラート対イオンは、高度なリソグラフィープロセスにおいて重要な、強い酸性、優れた熱安定性、および制御された酸拡散を提供します。

マイクロエレクトロニクスおよびMEMS製造

電子材料研究


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製品名	トリフェニルスルホニウム塩と1-(ジフルオロスルホメチル)-2,2,2-トリフルオロエチルトリシクロ[3.3.1.13,7]デカン-1-カルボキシレートの塩(1:1)
IUPAC名	[4-[2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]-2-oxoethoxy]phenyl]-diphenylsulfanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
分子構造
CASレジストリ番号	857285-80-4
EINECS番号	データなし
MDL番号	データなし
ベイルスタイン登録番号	データなし
同義語	(4-(2-(tert-butoxy)-2-oxoethoxy)phenyl)diphenylsulfonium 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate(4-(2-(tert-butoxy)-2-oxoethoxy)phenyl)diphenylsulfonium nonafluoro-n-butane-sulfonate4-tert-butoxycarbonylmethyloxyphenyldiphenylsulfonium nonafluoro-n-butanesulfonatep-t-butoxycarbonylmethoxyphenyldiphenylsulfonium nonafluoro-n-butanesulfonate
分子式	C28H25F9O6S2
分子量	692.604
InChI	InChI=1S/C24H25O3S.C4HF9O3S/c1-24(2,3)27-23(25)18-26-19-14-16-22(17-15-19)28(20-10-6-4-7-11-20)21-12-8-5-9-13-21;5-1(6,3(9,10)11)2(7,8)4(12,13)17(14,15)16/h4-17H,18H2,1-3H3;(H,14,15,16)/q+1;/p-1
InChIキー	QGJXWNMBTQGAFT-UHFFFAOYSA-M
標準的な SMILES	CC(C)(C)OC(=O)COc1ccc(S+c2ccccc2)cc1.O=S(=O)([O-])C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F