トリフェニルスルホニウム塩と1-(トリシクロ[3.3.1.13,7]デカ-1-イルメチル)2,2-ジフルオロ-2-スルホ酢酸塩(1:1) CAS番号: 1022939-88-3; ChemWhat コード:1491748
トリフェニルスルホニウム塩(1-(トリシクロ
識別
| 製品名 | トリフェニルスルホニウム塩と1-(トリシクロ[3.3.1.13,7]デカ-1-イルメチル)2,2-ジフルオロ-2-スルホ酢酸塩(1:1) |
| IUPAC名 | 2-(1-アダマンチルメトキシ)-1,1-ジフルオロ-2-オキソエタンスルホネート;トリフェニルスルファニウム |
| 分子構造 | ![]() |
| CASレジストリ番号 | 1022939-88-3 |
| EINECS番号 | データなし |
| MDL番号 | データなし |
| ベイルスタイン登録番号 | データなし |
| 同義語 | トリフェニルスルホニウム 1-アダマンチルメトキシカルボニルジフルオロメタンスルホネートトリフェニルスルホニウム 1-アダマンチルメトキシカルボニルジフルオロメタンスルホネートトリフェニルスルホニウム (アダマンタン-1-イルメチル) オキシカルボニルジフルオロメタンスルホネートトリフェニルスルホニウム (アダマンタン-1-イルメチル) オキシカルボニルジフルオロメタンスルホネート |
| 分子式 | C31H32F2O5S2 |
| 分子量 | 586.7 |
| InChI | InChI=1S/C18H15S.C13H18F2O5S/c1-4-10-16(11-5-1)19(17-12-6-2-7-13-17)18-14-8-3-9-15-18;14-13(15,21(17,18)19)11(16)20-7-12-4-8-1-9(5-12)3-10(2-8)6-12/h1-15H;8-10H,1-7H2,(H,17,18,19)/q+1;/p-1 |
| InChIキー | OPUSNKQMMLRYMS-UHFFFAOYSA-M |
| 標準的な SMILES | C1C2CC3CC1CC(C2)(C3)COC(=O)C(F)(F)S(=O)(=O)[O-].C1=CC=C(C=C1)[S+](C2=CC=CC=C2)C3=CC=CC=C3 |
| 特許情報 | ||
| 特許ID | Title | 刊行日 |
| US2016 / 168115 | 塩、酸発生剤、レジスト組成物およびレジストパターンの製造方法 | 2016 |
| JP2018 / 145179 | 塩、酸発生剤、レジスト組成物、およびレジストパターンの製造方法 | 2018 |
物理データ
| 外観 | 白から灰白色の粉末 |
| データなし | |
| 引火点 | データなし |
| 屈折率 | データなし |
| 感度 | データなし |
Spectra
| 核(NMRスペクトロスコピー) | 溶媒(NMRスペクトロスコピー) | 原文(NMRスペクトロスコピー) |
| 1H | クロロホルム-d1 | 1H NMR(測定溶媒:重水素クロロホルム、参照物質:テトラメチルシラン);δ=7.72(m、15H; TPS)、3.85(s、2H; CH2)、1.92(m、3H; 1-Ad)、1.62(m、12H; 1-Ad)。 |
| 1H | クロロホルム-d1 | 19F NMR(測定溶媒:重水素クロロホルム、参照物質:トリクロロフルオロメタン);δ=-110.0(s、2F;CF2). |
| 説明(質量分析) | コメント(質量分析) | ピーク |
| ESI(エレクトロスプレーイオン化)、LCMS(液体クロマトグラフィー質量分析) | 分子ピーク | |
| ESI(エレクトロスプレーイオン化) | 分子ピーク | 263.2 m / z |
| LCMS(液体クロマトグラフィー質量分析)、ESI(エレクトロスプレーイオン化) | ||
| LCMS(液体クロマトグラフィー質量分析)、ESI(エレクトロスプレーイオン化) |
| 説明(UV / VIS分光法) |
| スペクトラム |
合成経路(ROS)
| の賃貸条件 | 産出 |
| 80℃の水中で; | 100% |
| メタノール中;水に15時間; |
安全と危険
| GHSのハザード・ステートメント | 未分類 |
その他のデータ
| 輸送手段 | すべての輸送モードでNONH |
| 室温下で光を避けます | |
| HSコード | データなし |
| Storage | 室温下で光を避けます |
| 貯蔵寿命 | 創業2周年 |
| 市場価格 | USD |
| ドラッグライクネス | |
| リピンスキールールコンポーネント | |
| 分子量 | 586.721 |
| ログP | 8.553 |
| HBA | 5 |
| HBD | 0 |
| 一致するリピンスキー規則 | 2 |
| Veberルールコンポーネント | |
| 極表面積(PSA) | 91.88 |
| 回転可能な債券(RotB) | 8 |
| 一致するVeberルール | 2 |
| 使用パターン |
| コア機能:光酸発生剤(PAG) |
| 光を吸収し光分解を受ける |
| 強酸(ジフルオロメタンスルホン酸)を生成する 生成された酸は、化学増幅反応を触媒したり、その後のカチオン重合を開始したりすることができます。フォトレジストおよびカチオンフォトポリマー硬化システムにおける重要な機能性添加剤です。 II. 主な応用分野 1.半導体フォトレジスト(化学増幅型フォトレジスト、CAR) 適用対象: i線、KrF、ArFリソグラフィーシステム 高解像度化学増幅フォトレジスト 主な機能: 露出時の酸生成 脱保護反応を触媒する 露光効果を増幅 → 解像度、感度、限界寸法/ラインエッジ粗さ(CD/LER)制御を向上 アダマンチル構造の利点: 高い熱安定性を実現 酸の拡散を低減 → 解像度とラインエッジ粗さを向上 フォトレジストの光学性能と配合安定性を向上 カチオン光硬化システム エポキシ樹脂およびビニルエーテル材料の紫外線誘起カチオン硬化に使用される UV照射 → 酸生成 → カチオン開環重合または架橋を開始 アプリケーションが含まれます: UV硬化型コーティングとインク 電子封止材料 光パターン化絶縁層(例:PSPI、PI) |
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![1-(トリシクロ[3.3.1.13,7]デカ-1-イルメチル)2,2-ジフルオロ-2-スルホ酢酸(11)とのトリフェニルスルホニウム塩の合成経路(ROS)CAS番号1022939-88-3](https://www.chemwhat.com/wp-content/uploads/2026/02/Route-of-Synthesis-ROS-of-Triphenylsulfonium-salt-with-1-tricyclo3.3.1.137dec-1-ylmethyl-22-difluoro-2-sulfoacetate-11-CAS-1022939-88-3.png)